本微纳加工平台大型仪器设备已纳入“山东省大型科研仪器开放共享服务网”，均可对外共享使用，支持并可协助中小微企业申请使用山东省创新券。如电子束光刻系统 RAITH Voyager，ICP刻蚀系统OXFORD INSTRUMENTS PlasmaPro 80 Cobra，电子束蒸发镀膜系统DETECH DE500C，磁控溅射沉积、纳米压印（UV-NIL）、原子层沉积MNT-S等。
可按照客户目标参数代加工，或由客户独立上机操作（需经实验室安全培训和仪器操作培训），代加工或上机使用费用按机时计费。
本微纳加工平台大型仪器设备已纳入“山东省大型科研仪器开放共享服务网”，均可对外共享使用，支持并可协助中小微企业申请使用山东省创新券。如电子束光刻系统 RAITH Voyager，ICP刻蚀系统OXFORD INSTRUMENTS PlasmaPro 80 Cobra，电子束蒸发镀膜系统DETECH DE500C，磁控溅射沉积、纳米压印（UV-NIL）、原子层沉积MNT-S等。
可按照客户目标参数代加工，或由客户独立上机操作（需经实验室安全培训和仪器操作培训），代加工或上机使用费用按机时计费。